Recycle services半導体・素材リサイクル事業
フォトマスクリサイクル
MRS（マスクリサイクルサービス）
不要となったフォトマスクを
ブランクマスク・光学用素材として再利用
MRS（Mask Recycle
Service）は半導体のリソグラフィー工程で使用されたマスクを、弊社にて独自開発した装置にて処理を行い、ブランクマスクまたは、光学用素材としてリサイクルします。
自動膜除去装置導入よる高い処理能力と、大手半導体メーカーとの長期取引により培われたノウハウにより、知的財産の保護と、知的財産付随素材の高付加価値化を実現しています。
半導体工場で秘密保持の観点からは再処理となっているフォトマスクを情報セキュリティが保証された環境でリサイクル
リサイクル対象のフォトマスク
| Size | Shape | Dimension（mm） | Weight（g） | Thickness（mm） |
|---|---|---|---|---|
| 5009 | Square | 127×127 | 100 | 2.30 |
| 6009 | Square | 152×152 | 120 | 2.30 |
| 6012 | Square | 152×152 | 150 | 3.00 |
| 6025 | Square | 152×152 | 350 | 6.35 |
| 7012 | Square | 178×178 | 200 | 2.30 |
| 7015 | Square | 178×178 | 250 | 3.80 |
セキュリティ対策(マスクID管理)
お客様から回収したマスクのID管理サービスを提供いたします。
- 回収したマスクのIDすべてを記録。
- 記録を客先へ提出し回収したマスクがすべて売却対象なのかを確認。
- 客先からの承認後、工場でのリサイクル処理を実施。
MRS作業プロセス(YTC)
- FLOW01
-
受入（IP付フォトマスク）
- FLOW02
-
プロセスキャリアへ移替え
- FLOW03
-
膜除去処理
- FLOW04
-
処理後のフォトマスク
- FLOW05
-
処理後のフォトマスク
フォトマスク処理におけるセキュリティー対策
- 顧客から回収したマスクはすべてIDを記録
- 処理工場での膜除去作業は全てビデオ記録
- フォトマスク保管庫は厳重に施錠
- 処理工場への入退場はIDカード管理
スクラップシリコンリサイクル
スクラップシリコンリサイクルフロー
シルファインは、半導体工場から不要となったシリコンウェハーを回収し、ウェハー品質に応じた適切かつ無駄のないリサイクルソリューションを提案しています。
MRS（マスクリサイクルサービス）
シルファインでは、お客様の企業ノウハウの付随したパターンウェハーを機械的に除去し安全にリサイクルすることも可能です。
BEFORE
AFTER
自動パターンウェハー除去装置
(アメリカ・台湾工場に設置)
Material Recycling素材リサイクル事業
素材リサイクルパートナー
| 会社名 | Fine Technology |
|---|---|
| 業種 | 石英（SiO2）・酸化アルミニウム（Al203）・シリコン製品リサイクル |
| 所在地 | 韓国 |
| 設立 | 2013年1月 |
| 認証 | ISO9001・ISO14000 |
リサイクル素材紹介
石英製品
| 純度 | 4N |
|---|---|
| サイズ | 0.2mm～8mm（95%） |
| 生産能力 | 4000Kg/M |
| 色 | 無色 |
| 梱包 | 20Kg/袋 |
酸化アルミ製品
| 純度 | 4N |
|---|---|
| サイズ | 0.2mm～8mm（95%） |
| 生産能力 | 1000Kg/M |
| 色 | 無色 |
| 梱包 | 20Kg/袋 |
酸化アルミ製品
| 純度 | 4N |
|---|---|
| サイズ | 0.2mm～8mm（95%） |
| 生産能力 | 1000Kg/M |
| 色 | 無色 |
| 梱包 | 20Kg/袋 |
Silicon servicesシリコン事業
シリコンウェハー
シリコンウェハー販売
シルファインでは、半導体プロセスで使用可能な各グレードのウェハーをラインアップしており、1ロットからのご注文も承っております。
| グレード | プライム | ダミー・モニター | 再生 | 酸化膜付け | 後工程用 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ウェハサイズ | 300mm | ○ | ○ | ○ | ○ | |
| 200mm | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | |
| 150mm | ○ | ○ | ○ | |||
| 面方位 | ＜100＞±1° | ＜100＞±1° | As received | ＜100＞±1° | 客先指定 | |
| ノッチ方位 | ＜100＞±1° | ＜100＞±1° | ＜100＞±1° | 不問 | ||
| 厚さ | 新品厚 | 新品厚 | 客先指定 | 新品厚 | ||
| 導電型 | 客先指定 | P型 | 型 | |||
| 抵抗値 | ≧1Ω・cm | ≧1Ω・cm | ||||
| パーティクル | 客先指定 | - | ||||
| メタルコンタミ | ≦5E10 atoms/cm2 | ≦5E10 atoms/cm2 | ≦5E10 atoms/cm2 | ≦5E10 atoms/cm2 | ||
| 梱包 | 2重梱包（Al・PE） | 2重梱包（Al・PE） | 2重梱包（Al・PE） | 2重梱包（Al・PE） | 発泡ケース | |
上記以外にも、ウェハー金属分析、導電型・抵抗値測定等のサービスも行っておりますので、お気軽にお問い合わせください。
その他サービス
熱酸化膜成膜
200mm～300mm熱酸化膜付ウェハーを提供しています。成膜後でもパーティクル及びメタルコンタミネーションの保証が可能です。
シリコンパーツ
中国大手半導体メーカーThinkonの子会社「Dynafine」製シリコンパーツを販売しています。
大手装置メーカーで純正品としても使用されている品質です。セカンドパーツの対応も可能です。
Dynafine Info
概要
設立：2015
工場建屋：6,900 ㎡
事務棟：1,370 ㎡
特徴
世界でも希少な垂直統合型メーカー
シリコンインゴットの引き上げから
最終製品まで一貫した品質管理
エリア
中国
日本
シンガポール
米国
工場・設備
